池田屋精品INFICON英富麗LDS3000 氦氣泄漏檢測器產品介紹技術參數

一、產品定位：緊湊型檢漏領域的性能

INFICON英富麗LDS3000氦氣泄漏檢測器是一款專為真空檢漏場景打造的高性能檢測設備，作為LDS2010的升級迭代產品，它在檢測精度、響應速度與集成靈活性上實現了全面突破，成為汽車、制冷、半導體等行業自動化檢漏系統的核心組件。其緊湊設計與高效性能的結合，既滿足了工業產線對空間利用率的嚴苛要求，又能為高精度密封檢測提供可靠支持。

二、核心技術與性能參數

1. 多模式高精度檢測能力LDS3000配備四種檢測模式，可覆蓋從微泄漏到粗泄漏的全范圍檢測需求：ULTRA模式下最小可檢測泄漏率<1E-11 mbar·l/s，FINE模式<5E-11 mbar·l/s，GROSS模式<1E-9 mbar·l/s，Sniffer模式<1E-7 mbar·l/s，測量單位支持mbar·l/s、Pa•m3/s、Atm cm3等多種形式^。這種多模式設計使其既能滿足半導體制造中極限真空的微泄漏檢測，也能應對汽車管路等部件的粗泄漏排查。

2. EcoBoost節能省氣技術搭載EcoBoost技術，通過智能算法實時預測示蹤氣體背景變化，可在測試周期早期精準識別泄漏點，同時將氦氣消耗量降低90%，每年可減少約5000噸溫室氣體排放^。配合INFICON提供的氦氣計算工具，用戶可根據測試參數量化成本節省，實現綠色高效的檢漏作業。

3. 高效集成與便捷操作設備尺寸僅為330×240×280mm，可無縫集成到各類自動化測試系統中，支持最長30米的電纜連接距離，通過模擬量、數字量及現場總線接口實現多樣化通信^。采用I·CAL算法優化響應速度，新型校準程序可在20秒內完成校準，雙燈絲離子源提供3年保修期，顯著降低長期使用成本。

三、典型應用場景

1. 汽車制造領域廣泛應用于安全氣囊部件、制動管路、燃油管路及液壓部件的密封性檢測，確保汽車關鍵系統無泄漏風險，提升整車安全性與可靠性。在新能源汽車生產中，可用于電池冷卻系統、氫燃料管路的高精度檢漏，保障新能源動力系統的穩定性。

2. 制冷與空調行業針對蒸發器、冷凝器、壓縮機等制冷核心部件，LDS3000可快速檢測微小泄漏，避免制冷劑流失導致的能耗增加與性能下降。其衍生型號LDS3000 AQ采用累積檢漏法，可使用合成氣體或氦氣，以接近空氣測試的成本實現與真空測試相當的精度，特別適合大型空調組件、加熱部件的泄漏檢測。

3. 半導體與精密制造在半導體晶圓加工設備、真空腔體的維護與生產中，ULTRA模式的超高靈敏度可檢測到<1E-11 mbar·l/s的微泄漏，保障真空環境穩定性，避免因泄漏導致的工藝缺陷與產品良率下降。同時，設備的緊湊設計與遠程控制能力，適配半導體潔凈車間的特殊環境要求。

四、LDS3000 AQ衍生型號優勢

作為LDS3000的產品變體，LDS3000 AQ創新采用累積檢漏技術，支持合成氣體（95%N?+5%H?）與氦氣雙模式檢測，最小可檢漏率低至10?? mbar·l/s^。該型號不受溫度與濕度影響，測試結果重復性高，可替代傳統壓力衰減法，為溫暖、潮濕或大型部件提供可靠檢測方案，同時將檢測成本降低至接近空氣測試水平。