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產(chǎn)品型號：新品廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2025-11-17訪 問 量：474ULVAC愛發(fā)科 回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6
ULVAC愛發(fā)科 回轉(zhuǎn)式多傳感器 CRTS-M6
操作性的提高：通過與PC/智能手機的連接，可以進行設(shè)定點設(shè)置、狀態(tài)確認(rèn)等。
燈絲壽命通知功能：通過監(jiān)測燈絲功率，可提前通知燈絲壽命。
可連接到不同的測量范圍：復(fù)合電離真空計可以根據(jù)工藝選擇測定子。
小型化：與之前的產(chǎn)品相比，實現(xiàn)了尺寸的大幅縮小（控制器體積縮小56%），成為同級別最小的產(chǎn)品之一。
更豐富的陣容：除了模擬輸出規(guī)格和串行通信規(guī)格之外，還將增加EtherCAT規(guī)格
一臺三極管金屬電離真空計（正在申請）：即使在惡劣的環(huán)境中，真空計的使用壽命也很長。
壓力測量范圍廣：從大氣壓到高真空范圍（1×10+5～1×10-5Pa）（選配SWU10-R的情況下）。
可以精確的測量大氣壓：可以檢查腔體的開啟情況（當(dāng)連接了可選的單元SAU時）。
用途
用于有機EL?觸摸屏等制造設(shè)備的極限壓力確認(rèn)以及工藝管理用真空爐等各種工業(yè)真空設(shè)備的極限壓力確認(rèn)
用于在含有多種碳氫化合物（油類）的環(huán)境中進行測量
用于在真空零件加工時殘留切削油和清潔液的環(huán)境中進行測量
用于需要降低測定子更換頻率的真空設(shè)備
多傳感器
CRTS 系列
愛發(fā)科
可搭載6枚5MHz或6MHz的水晶振動子
使用了真空電機的獨-特驅(qū)動方式實現(xiàn)了高可靠性
水晶震動子的更換非常方便
當(dāng)檢測到水晶振動子振蕩異常時，可以自動進行水晶振動子切換（當(dāng)CRTM系列用作控制器時）
由于傳感器頭很小（直徑50mm），可以靈活地連接到成膜系統(tǒng)。
光學(xué)、光通信部品的蒸發(fā)
有機物的蒸發(fā)
電子部品,其他蒸發(fā)
| 感測頭 | |
| 已裝備水晶數(shù)量 | 6 件 |
| 晶體容量 | 4MHz、 5MHz 或 6MHz（可選）AT 切割晶體 |
| 耐熱溫度 | 350℃ |
| 冷卻水量 | 1升/分鐘 |
| 重量 | 1公斤 |
| 方面 | Φ50mm x H 約89mm |
| 控制器 | |
| 數(shù)字輸入 | 初始化、計數(shù)、停止 |
| 數(shù)字輸出 | 傳感器編號、忙碌、錯誤、重試、結(jié)束 |
| 公用事業(yè) | DC24V，3.0A |
| 尺寸 寬×深×高 | 100 毫米 x 252 毫米 x 99 毫米 |
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