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產(chǎn)品型號(hào)：CRYO-U6H廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-11-16訪 問(wèn) 量：557倉(cāng)庫(kù)直售 ULVAC愛發(fā)科 高真空的低溫泵
倉(cāng)庫(kù)直售 ULVAC愛發(fā)科 高真空的低溫泵
使用 安裝組件可無(wú)需支架直接搭載
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過(guò)濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過(guò)濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
特點(diǎn)
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí)，碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>
用途
分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
輕量?緊湊、標(biāo)準(zhǔn)尺寸最小的泵
適用于實(shí)驗(yàn)室和研究室的小型真空設(shè)備。
可以多臺(tái)運(yùn)行（最多3臺(tái)）
可以達(dá)到超高真空（10-8Pa以下）
| 排氣速度(20℃) | 氮 | L/s | 750 |
| 氫 | 1,100 | ||
| 氬 | 620 | ||
| 水 | 2,100 | ||
| 極限壓力 | Pa(Torr) | 10-7(10-9) | |
| 最大流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 1.1×103(7.9) |
| 氫 | 1.1×102(0.8) | ||
| 排氣容量 | 氬 | Pa?L(Torr?L) | 5.6×107(4.2×105) |
| 氫 | 3.1×105(2.3×103) | ||
| 冷卻下降時(shí)間(動(dòng)力循環(huán)) | min(Hz) | 80/70(50/60) | |
| 吸氣口法蘭 | UVG-150,UFC-203 | ||
| 壓縮機(jī)組 | C10T,C10AT | ||
| 重量 | Kg | 19 | |
*維護(hù)周期：16,000小時(shí)
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