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產(chǎn)品型號：MS120A廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時間：2025-11-16訪 問 量：561新產(chǎn)品ULVAC愛發(fā)科 通用螺桿型干泵MS600A
新產(chǎn)品ULVAC愛發(fā)科 通用螺桿型干泵MS600A
特點
通過對轉(zhuǎn)子軸和鋁合金等主要部件進行特殊涂層處理，進行腐蝕。
采用ULVAC 設(shè)計的底座軸，實現(xiàn)高性能的排粉。
從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
目的
半導(dǎo)體和電子器件制造設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設(shè)備、去膠設(shè)備、離子清洗設(shè)備等。
真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結(jié)爐、滲碳爐等。
鋰電池制造設(shè)備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設(shè)備、脫泡設(shè)備、注液設(shè)備等。
醫(yī)療食品設(shè)備相關(guān)的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)LS系列的基礎(chǔ)上，提高了該耐溶解和粉末排出性能。該型號專為利用溶解氣體和有粉末排出的工藝設(shè)計
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| 最大排氣速度*1 | 立方米/小時 | 115 | 560 | 980 |
| 累計重量 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 200V級：3相, 50/60Hz, AC200-240V±10% 或 400V級：3相, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消費電力概略值*2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體量 *1 | 空間光調(diào)制器 | 0~50 | ||
| 最大水蒸氣處理量*1*3 | 公斤/小時 | 1.5 | ||
| 噪音值*1 | 分貝(聲級) | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50(臥式) / VG50(立式) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質(zhì)量 *4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 適用規(guī)格 | CE、cTUVus | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)附屬產(chǎn)品 | 快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、遙控連接器、電源連接器防護罩、消音器 | |||
| 本體選配件 | 電源：200V級或400V級 密封材質(zhì)：FKM或FFKM | |||
| 外部選配件 | 包裝排氣口、防震支架、LR 兼容單元（入口、遠程）、吹掃氣閥 | |||
*1：到達壓力時
*2：極限壓力（僅供參考）
*3：凈化氣體使用時的最大水蒸氣處理量
*4：包括消音器
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