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        全新ORC歐阿希 VUM-3500半導體用UV照射設備

        簡要描述:全新ORC歐阿希 VUM-3500半導體用UV照射設備
        它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產現場配備紫外線燈的設備。
        請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。

        • 產品型號:VUM3500
        • 廠商性質:經銷商
        • 更新時間:2025-11-15
        • 訪  問  量:659
        詳情介紹

        全新ORC歐阿希  VUM-3500半導體用UV照射設備

        全新ORC歐阿希  VUM-3500半導體用UV照射設備

        它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產現場配備紫外線燈的設備。
        請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。


        這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強度。根據您正在使用(或計劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數據可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產現場配備紫外線燈的設備。
        請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量(照度/光量)。

        采用254nm波長, 去除電荷。

        單波長允許低溫處理。

        用低入射角紫外線有效照射目標區域。

        提高了LSI的成品率和可靠性。

        閃存、其他非易失性存儲器、圖像傳感器等的電荷去除和數據擦除。
        這是一種小型、輕量的手持式,可讓您輕松管理曝光設備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強度。根據您正在使用(或計劃使用)的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數據可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。


        模型VUM-3500
        晶圓尺寸Φ300毫米(標準)
        同時處理數15 件
        盒式磁帶格式晶圓傳送盒
        晶圓運輸自動輸送
        燈數量20 件
        照度測量自動測量

         


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