全新ORC歐阿希 PPS-8200P1半導(dǎo)體曝光設(shè)備

簡要描述：全新ORC歐阿希 PPS-8200P1半導(dǎo)體曝光設(shè)備
它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。

產(chǎn)品型號：PPS8200P1
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2025-11-15
訪問量：525

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詳情介紹

全新ORC歐阿希 PPS-8200P1半導(dǎo)體曝光設(shè)備

它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。

這是一種小型、輕量的手持式，可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強度。根據(jù)您正在使用（或計劃使用）的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。它是一種小型輕便的手持式測量儀器。適用于管理生產(chǎn)現(xiàn)場配備紫外線燈的設(shè)備。
請使用它來管理紫外線燈的紫外線照射量（照度/光量）。

這是一種小型、輕量的手持式，可讓您輕松管理曝光設(shè)備的照度和光量。可以輕松測量紫外線照度和光強度。根據(jù)您正在使用（或計劃使用）的光源以及抗蝕劑的靈敏度等選擇UV-25、35或42的接收器。測量數(shù)據(jù)可通過RS-232C通信輸出傳輸。它還具有模擬輸出。

模型	PPS-8200p1/8300p1
晶圓尺寸	6/8/12英寸
解決	2.0 µmL/S（2.0 µm 抗蝕劑厚度）
NA（數(shù)值孔徑）	0.16、0.1 變量
減速比	1:1
場地大小	52毫米×33毫米
曝光波長	ghi-Line gh-line i-line（食譜鏈接）
標線尺寸	6寸
疊加精度	≤0.5 µm(\|平均\|+3σ)
設(shè)備尺寸/重量	(寬)2,260 x (深)3,460 x (高)2,500mm / 5,500kg
主要選項	背面對準系統(tǒng) 晶圓周邊曝光系統(tǒng) 晶圓周邊非曝光系統(tǒng) 薄晶圓輸送系統(tǒng) 兼容GEM通信內(nèi)聯(lián)兼容

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